1、直流式:系统所处理的空气全部来自室外,处理后送入室内,然后又全部排出室外。该系统方式冷、热量消耗,工程投资和运行费用较高,当洁净室内散发大量的有害气体,而局部排风不能解决时,采用该方式。
为获得送入洁净室具有一定状态的空气,就需要一整套设备对空气进行处理,并不断送入室内,又不断从室内排出一部分来,这一整套设备就构成了洁净空调系统。 [1]
2、分散式洁净空调系统:在系统内各个洁净室单独设置净化设备或净化空调设备。
对于一些生产工艺单一,洁净室分散,不能或不宜合为一个系统,或各个洁净室无法布置输送系统和机房等场合,应采用分散式洁净空调系统 [3] ,在该系统中把机房、输送系统和洁净室结合在一起,自成系统。在分散式洁净空调系统中,在各个洁净室或邻室内就地安装净化和空调设备或净化空调设备。 净化空调设备可以是一个定型机组产品,它具有净化功能,但处理的风量较少,往往不能满足较高洁净度的洁净室所需风量,系统处理过程往往是一次回风系统。