(3)隔墙板(Partitional wall):包括窗户、门。
(4)地板:包括高架地板或防静电舒美地板。
洁净室要求
(6)结构物与隔间之气密性。
(7)静电之防制。
(8)电磁干扰预防。
(9)安全因素之考虑。
(10)节能之考量
净化车间亦称为无尘室或清净室。是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、等污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪 音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
洁净室要求
(1)能除去空气中飘游之微尘粒子。
(2)能防止微尘粒子之产生。
(3)温度和湿度之控制。
(4)压力之调节。
(5)有害气体之排除。
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