各种微生物的大小在于0.3µm。病毒是小的微生物,大约在0.005µm以上,其次是立克次氏体。种类很多,多数 在空气中以群体形式存在。常见的大小为5.5~6.5µm,为3.1~3.9µm,采用高效空气过滤器(0.5µm,过滤效率≥99.9%)基本 上可将它们除去。

洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间 我们称之为洁净室。

(3)隔墙板(Partitional wall):包括窗户、门。
(4)地板:包括高架地板或防静电舒美地板。

(4)压力之调节。
(5)有害气体之排除。
(6)结构物与隔间之气密性。
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